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首頁 >深圳京都玉崎電子有限公司> 技術文章> 日本EBARA荏原干式真空泵EV-M202N
日本EBARA荏原干式真空泵EV-M202N
2025/11/07 11:28:18
EBARA荏原干式真空泵EV-M202N由深圳市京都玉崎電子有限公司供應,并提供報價圖片,!
EV-M型 干式真空泵
EV-M 型可應用于在半導體、液晶和太陽能電池制造工藝中有副產物生成的重 制程工藝。同時兼顧了對重制程工藝和節(jié)能的需求,實現了停機風險的減少和 運行成本的降低。
特點
產品系列豐富,可應對多種工藝、抽氣速率需求;兼顧高負荷與低功耗;
可應對腐蝕性氣體(標配耐腐蝕材料)。
EBARA 荏原干式真空泵是荏原公司推出的一系列無油真空泵產品,具有清潔、節(jié)能、緊湊等特點,廣泛應用于半導體、光伏等領域。以下是其主要介紹:
產品特點
無油清潔:采用非接觸式密封技術,無需使用油或液體進行密封,能實現清潔真空,避免油和水的回流或擴散,適用于對真空環(huán)境要求較高的場合。
節(jié)能高效:的優(yōu)化轉子設計,提高了壓縮效率,降低了功耗。部分型號還具備怠速模式,可進一步節(jié)省能源。
小巧輕便:具有小型輕量化的設計特點,占用空間小,便于安裝在有限的空間內,且一些型號易于搬運,適合需要多次移動的應用場景。
低噪音振動:運行時噪音和振動水平較低,能為用戶提供較為安靜的工作環(huán)境,同時也有助于設備的穩(wěn)定運行和延長使用壽命。
智能控制:具備*的控制管理功能,如數據保存、警報履歷備份等,部分型號還可通過可編程的 LCD 控制器進行手動預警設置,方便用戶監(jiān)控和管理設備。




