ULVAC愛(ài)發(fā)科多級(jí)羅茨干式真空泵 LR3601-R

2025/07/01 15:52:46

多級(jí)羅茨干式真空泵是一種在真空室內(nèi)不使用油或液體的機(jī)械真空泵。

在 FPD、電子和半導(dǎo)體行業(yè)等領(lǐng)域，需要更清潔的真空，并且需要真空泵來(lái)提高產(chǎn)量和可維護(hù)性。 *常見(jiàn)的泵是羅茨干式真空泵。

通過(guò)在低溫范圍內(nèi)平衡泵體的熱量，它是 PVD 工藝抽真空的理想泵，尤其是在制備和取出室中，縮短泵送時(shí)間以提高吞吐量非常重要。

ULVAC愛(ài)發(fā)科多級(jí)羅茨干式真空泵 LR3601-R

長(zhǎng)處

除了低溫整平（型號(hào)：LR）

PVD 工藝外，它還特別適用于制備室和取出室的排氣，在這些地方，縮短抽氣時(shí)間對(duì)于提高產(chǎn)量很重要。

由于其密封結(jié)構(gòu)，由于其密封

結(jié)構(gòu)，它非常安全。

瞬時(shí)停止：在 1000 毫秒內(nèi)實(shí)施瞬時(shí)停止

措施。

優(yōu)異的耐腐蝕性主要部件采用表面硬度高、耐腐蝕性?xún)?yōu)異的特殊

表面處理。減少排空腐蝕性氣體時(shí)泵內(nèi)部的腐蝕。

通信功能：

可以讀取泵運(yùn)行狀態(tài)和警告/警報(bào)歷史記錄數(shù)據(jù)。通過(guò)使用軟件和計(jì)算機(jī)通信，可以進(jìn)行集中監(jiān)控。

用

成膜設(shè)備（濺射設(shè)備、氣相沉積設(shè)備等）

減少準(zhǔn)備室和取出室的排氣時(shí)間

作為輔助排氣泵（渦輪分子泵的輔助排氣、機(jī)械增壓泵）

規(guī)范

型			LR300 系列	LR600 系列	LR1200型	LR1800 系列	LR3601 系列	LR3601-T（TT）銅皮	LR3601-R	LR3601-TR（TTR）銅
使用的泵		DRP	LR60 系列	LR90 系列	LR90 系列	LR180型	LR421 系列	LR421-T	LR421 系列	LR421-T
		MPB	PRC-003A 系列	PRC-006A 系列	PRC-012A 系列	PRC-018A 系列	PRC-036C 系列	PRC-036C（-T）系列	PRC-036D 系列	PRC-036D（D-T）系列
*抽速	50 赫茲	m3/h （升/分鐘）	359 （5,980）	653 （10,900）	1,012 （16,900）	1,701 （28,350）	3,200 (53,333)
	60 赫茲	m3/h （升/分鐘）	365 （6,080）	701 （11,700）	1,051 米（17,500）	1,784 （29,700）	3,200 (53,333)
極限壓力			0.67 帕
*入口壓力（入口壓力）			氣壓
*排氣口壓力（排氣壓力）			1Pa ~ 大氣壓
進(jìn)氣口（CE 規(guī)格）			VG80 （KF80）		VG100 型（KF100）	VG150 型（KF100）	VG150型
排氣口			肯氟烴40				KF50 系列
MBP 表面處理			〇 *2	〇 *2	〇 *2	〇 *2	×	T：× TT：×	×	TR：× TTR：〇
質(zhì)量		公斤	275	370	420	545	660	720	660	720
電力 *3	三個(gè)階段	VAC （赫茲）	200 (50/60), 220 (60)				180~240 / 380~440 （50/60）
當(dāng)前值	穩(wěn)態(tài)	一個(gè)	7.0 （200V 時(shí)）	12.3 （200V 時(shí)）	13.7 （200V 時(shí)）	21.4 （200V 時(shí)）	31.0 （200V 時(shí)） 400V 時(shí) 20.5		35.4 （200V 時(shí)） 400V 時(shí) 20.5
	*值	一個(gè)	9.6 （200V 時(shí)）	19.0 （200V 時(shí)）	24.2 （200V 時(shí)）	39.8 （200V 時(shí)）	200V 時(shí)為 58.4,400V 時(shí)為 40.5		82.0 （200V 時(shí)）400V 時(shí) 40.5
冷卻水臨時(shí)壓力		兆帕	0.1~0.3				0.2~0.5
冷卻水入口/出口壓差		兆帕	>0.1		0.1~0.3		0.2~0.5
冷卻水流量		升/分鐘	>5.0				>4.0
吹掃氣體	一次壓力	兆帕	0.1~0.5
	二次壓力	兆帕	0.05~0.1
N2?吹掃	軸	SLM 系列	5
	加斯伯勒	SLM 系列	0~45				無(wú) *4	0~45	無(wú) *4	0~45

ULVAC（愛(ài)發(fā)科）是日本*的真空技術(shù)和精密設(shè)備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業(yè)的企業(yè)，ULVAC專(zhuān)注于真空設(shè)備、鍍膜系統(tǒng)、半導(dǎo)體制造設(shè)備、分析儀器等高科技領(lǐng)域，為電子、光伏、汽車(chē)、醫(yī)療等行業(yè)提供核心技術(shù)支持。
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋：
真空設(shè)備：干式真空泵、分子泵、真空測(cè)量?jī)x器等。
鍍膜技術(shù)（PVD/CVD）：用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、太陽(yáng)能電池等。
半導(dǎo)體制造設(shè)備：濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測(cè)試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù)：OLED蒸鍍?cè)O(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。

迪慶危險(xiǎn)房屋檢測(cè)服務(wù)公司

麗江辦理房屋安全鑒定公司

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