任何方向類型 TG-F 系列
使用油脂潤滑球軸承，用于小型、輕便和低成本的泵?？箾_擊設計使渦輪分子泵能夠安裝在移動設備或運動部件上。產(chǎn)品陣容提供從 50 L/s 到 2400 L/s 的型號。
潤滑脂潤滑球軸承型渦輪分子泵的橫截面
產(chǎn)品陣容
TG1400F
■ 任何方向
■ 緊湊的尺寸
■ 節(jié)能
■ 快速啟動
■ 帶排氣口快速關閉
■ 用于涌入空氣的耐用結構
■ 串行通信
※RS232C 串行接口
應用
■ 半導體生產(chǎn)
■ 電子槍排氣、電離源排氣
■ FPD制造
■ 表面處理、表面改性
■ 各種電子元件的制造
■ 分析、檢測設備
■ 燈具生產(chǎn)、光學元件生產(chǎn)
■ 加速裝置、輻射設施、核聚變研究
■ 熱處理
■ 研究與開發(fā)
*如果排出腐蝕性氣體，請選擇我們的化學用TG-M或TG系列。
| 入口法蘭 | VG200 ISO-B200 CF200 | |
| 體積流量 | N2（長/秒） | 1400 |
| N2 （帶防護屏） （長/秒） | 1300 | |
| H2（長/秒） | 750 | |
| *壓縮 比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 4.3×103 | |
| 基礎壓力 | （賓夕法尼亞州） （托爾） | <1×10-6 <7.5×10-9 |
| *吞吐量※1 | （SCCM） | 450 |
| 啟動時間 | （分鐘） | 5.5-7 |
| 關機時間 | （分鐘） | 15-18 |
| *背壓 | （賓夕法尼亞州/托爾） | 330/2.5 |
| 的前級 真空泵 | （升/分鐘） | ≧250 |
| 位置 | 任何方向 | |
| 重量 | VG?ISO-B/CF（kg） | 29/30 |
| 控制器 | TC1103型 | |
*1 ： 使用500L/min的前級真空泵時。
[使用環(huán)境溫度]
確保您達到極限壓力的環(huán)境溫度范圍為 10-23°C。風冷型允許環(huán)境溫度為10-32°C，水冷型允許環(huán)境溫度為10-40°C。保證極限壓力的冷卻水*溫度為30°C，冷卻水允許溫度范圍為10-35°C。
[對應氣體]
一些使用氣體會使?jié)櫥蛢?nèi)部零件變質。請聯(lián)系 Osaka Vacuum 獲取適用氣體類型的列表。
在手機上查看
京公網(wǎng)安備 11010802023672號
溫馨提示：為規(guī)避購買風險，建議您在購買產(chǎn)品前務必確認供應商資質及產(chǎn)品質量。